真空深冷机又称快速循环水汽深冷泵、polycold超低温捕集泵、超低温冷凝排气机等。
超低温深冷设备工作原理：
在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中，空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽，这类残余气体在高真空状态下，抽取难度大、速度慢，而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件，深冷机可有效解决这类问题, 在真空度 10-2 至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，提高真空度、提高产品品质，加快抽速提高生产效率。
在真空室中或油扩散泵的泵口，放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置（盘管或冷阱），通过其表面的深低温冷凝能力，迅速将真空腔体内的残余气体附着，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短50-80%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
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