产品分类
联系我们 Contact Us

无锡新诚真空科技发展有限公司
地 址:无锡市新吴区硕放工业集中区
            墙门村张更上1号
电 话:0510-85300977
联系人:姚经理
手机:134-0001-3408
          136-5177-7078

新闻中心 /News
当前位置:首页 > 新闻中心

新诚深冷为你解析:真空镀膜机主要分类

发布时间:2018-04-10  新闻来源:admin  浏览次数:622
主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
厚度均匀性主要取决于:
1。基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3. 蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
晶向均匀性:
1。晶格匹配度
2。 基片温度
3。蒸发速率
溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。


标签:,,

您对此可能也感兴趣

MORE+

版权所有  Copyright 2020 @ 无锡新诚真空科技发展有限公司  All Rights Reserved
地 址:无锡市新吴区硕放工业集中区墙门村张更上1号  电话:0510-85300977  联系人:姚经理 134-0001-3408 136-5177-7078